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純度（體積分?jǐn)?shù)）/10-2

≥99.999

包裝

4L-500L

氮?dú)夂浚w積分?jǐn)?shù)）/10-6

＜4

氧氣+氬氣含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6

＜1

水份含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6

＜3

一氧化碳（體積分?jǐn)?shù)）/10-6

＜0.1

二氧化碳（體積分?jǐn)?shù)）/10-6

＜1

六氟化硫（體積分?jǐn)?shù)）/10-6

＜1

酸度（體積分?jǐn)?shù)）/10-6

＜0.1

其他鹵碳化合物（體積分?jǐn)?shù)）/10-6

＜1

總雜質(zhì)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6

≤10