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激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前要進行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦（He）氖（Ne）激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光氣是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪（KrF）激光，可稱為第三代激光。
類別
混合氣組成/（10-2）
用途
H2
Ne
Ar
N2
CO2
Kr
F
Xe
CO
HCl
平衡氣
氦氖激光
混合氣
2-8.3
He
用于工業(yè)生產(chǎn)，科學研究和國防建設等領域
CO2激光
混合氣
0.4
13.5
13.0
8.0
6.0
16.0
8-12
4.5
7.0
8.0
8.0
16.0
6-8
2.0
4.0
2.0
4.0
主要用于激光加工，如金屬、陶瓷的切割、焊接與鉆孔以及醫(yī)療上的激光外科等
氪氟激光
混合氣
5.0
10.0
1-0.2
用于保護膜導光以及化學反應等領域。貯存器制造中的石板印刷已開始使用氟化氪激光
密封束
激光氣
18.5
3
2.5
作研究用的密封束激光氣
準分子
激光氣
25.8
9.8
0.004
1
5
0.2
5.0
Ar
He
He
Ar
準分子激光器用于醫(yī)療上的外科手術
